台積電稱A16節點不一定需要ASML的High NA EUV光刻機

全球晶圓代工巨擘台積電 2330的一位高管周二表示，台積電A16節點不一定需要ASML(阿斯麥/艾司摩爾) ASML的下一代High NA EUV設備。A16工藝正在開發之中，預計在2027年開始投產。

台積電業務開發資深副總經理暨副共同營運長張曉強在阿姆斯特丹的一次會議上說，該公司的A16工廠有可能被設計成適應該技術，但這並不確定。台積電是ASML常規EUV光刻機的最大用戶。(完)