去年的ASML收入為121.07 B PLN,其中大部分 — 39.71 B PLN — 來自目前表現最佳的來源 Extreme Ultraviolet, 前一年帶來了33.04 B PLN. 台灣對收入數字的貢獻最大 — 去年它帶來了 ASML35.14 B PLN, 以及前一年 — 37.96 B PLN.