去年的ASML收入為121.07 B PLN，其中大部分 — 41.41 B PLN — 來自目前表現最佳的來源 Argon Fluoride Immersion, 前一年帶來了39.25 B PLN. 中國對收入數字的貢獻最大 — 去年它帶來了 ASML43.67 B PLN, 以及前一年 — 31.56 B PLN.
