去年的ASML收入為27.56 B EUR，其中大部分 — 9.12 B EUR — 來自目前表現最佳的來源 Extreme Ultraviolet, 前一年帶來了7.05 B EUR. 台灣對收入數字的貢獻最大 — 去年它帶來了 ASML8.07 B EUR, 以及前一年 — 8.10 B EUR.
