去年的ASML HOLDING NV收入為25.29 B CHF,其中大部分 — 8.30 B CHF — 來自目前表現最佳的來源 Extreme Ultraviolet, 前一年帶來了6.85 B CHF. 台灣對收入數字的貢獻最大 — 去年它帶來了 ASML HOLDING NV7.35 B CHF, 以及前一年 — 7.87 B CHF.